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       對(duì)于半導(dǎo)體檢測(cè)而言，雖然在批量生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室、晶圓等環(huán)節(jié)都需要用到，相關(guān)環(huán)節(jié)也比較復(fù)雜，但是電性能測(cè)試則是較為基本的環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體器件或模組，在研發(fā)、設(shè)計(jì)及生產(chǎn)過(guò)程中，都免不了這一環(huán)節(jié)。

       在半導(dǎo)體檢測(cè)電性能測(cè)試環(huán)節(jié)，目前的測(cè)試方案就是源測(cè)量單元。SMU是一種精密電源儀器，具備電壓輸出和測(cè)量以及電流輸出和測(cè)量功能。這種對(duì)電壓和電流的控制使得可以靈活地通過(guò)歐姆定律計(jì)算電阻和功率?？赏瑫r(shí)控制與量測(cè)精度高的電壓、電流，為消費(fèi)性電子產(chǎn)品、IC設(shè)計(jì)與驗(yàn)證、學(xué)術(shù)等實(shí)驗(yàn)室提供電性能測(cè)試。

       對(duì)于半導(dǎo)體芯片而言，半導(dǎo)體檢測(cè)儀器參數(shù)的微小調(diào)整就有可能產(chǎn)生不同的結(jié)果。因此需要熟悉源測(cè)量單元實(shí)用指南，針對(duì)測(cè)量精度、測(cè)量速度、電線電阻消除、偏移電壓補(bǔ)償、外部噪聲、避免電流泄露以及校準(zhǔn)等環(huán)節(jié)的具體說(shuō)明。